绝缘环
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氮化硅(si3N1)有两种品型,即一siN4和p—si:Nd,均属六方晶系,两者都是6EsiO‘]四面体共用顶角构成的三维空间网络,相在高温下可转变为p相,但一般认为两相在结构上只有对称性的差别(9相对称性较高),而无高低温相之分表5—5列出了Si3Nd的两个相的晶格常数及密度。

关键词:

氧化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、氧化锆陶瓷

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氮化硅在半导体应用在哪些方面
近几年来,随着测试分析技术和制造工艺的发展,氮化硅陶瓷制品的可靠性得到不断提高,故应用面也在不断扩大特别值得一提的是正在研制的氮化硅陶瓷发动机,而且已经取得了很大的进展,这在国家科学技术上已经成为举世瞩目的大事与其应用相关的内容有:(1)在冶金工业上:制成马弗炉炉膛、燃烧嘴、坩埚、铸模、铝液导管、热电偶测温保护用套管、发热体夹具、铝电解槽衬里等热工设备上的部件;(2)在化学工业上:制成泵体、密封环、燃烧舟、球阀、热交换器部件、过滤器、固定化触媒载体、蒸发皿等;(3)在机械工业上:制成轴承、高速车刀、金属部件热处理的支承件、转子发动机刮片、燃气轮机的导向叶片、涡轮叶片等;(4)在航空、半导体、原子能等工业上:用于制造薄膜电容器、承受高温或温度剧变的电绝缘体、开关电路基片、导弹尾喷管、原子反应堆中的隔离件和支承件、核裂变物质的载体等;(5)正在研制中的氮化硅质的全陶瓷发动机代替同类型金属发动机。氮化硅陶瓷等代替合金钢制造陶瓷发动机,其工作温 度可达1300℃~1500℃ 1998年,美国军方曾做过一次有趣的实验:在演习 场200米跑道的起跑线上,停放着两辆坦克,一辆装 有500马力的钢质发动机,而另一辆装有同样马力的 陶瓷发动机陶瓷发动机果然身手不凡,那辆坦克 仅用了19秒钟就首先到达终点,而钢质发动机坦克 在充分预热运转后,用了26秒才跑完全程 陶瓷发动机的热效率高,不仅可节省30%的热能, 而且工作功率比钢质发动机提高45%以上另外, 陶瓷发动机无需水冷系统,其密度也只有钢的一半 左右,这对减小发动机自身重量也有重要意义。
氮化硅陶瓷具备金属材料等其他原材料所沒有的长此即优质的耐温性、强度、抗磨损性、耐蚀性和质轻性等,但瓷器也是有易脆、抗冲击性和耐高温破坏性低的具有缺陷,使作用的运用遭受挺大的限定。

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